陪備真空腔和高性能真空泵，全自動真空控制系統，使真空測試過程更加智能化   
鍍層厚度測量精確至0.005微米
分析低含量的輕元素時，使用真空泵設備將空氣抽出，使內部在真空狀態下進行對輕元素的分析

技術指標
※. 測量元素:從鈉至鈾等 75 種元素
※. 測量對象:粉末、固體、液體
※. 元素含量分析范圍:1ppm-99.99%
※. RoHS 指令規定的有害元素（限 Cd/Pb/Cr/Hg/Br）檢出限zui高達1ppm
※. 測量時間: 60-200s
※. 能量分辨率為： 140±5eV（德國產SDD探測器）
※. 測量精度: < 0.05%
※. 管壓：5-50kV
※. 管流：50-1000uA
※. 溫度適應范圍： 15-30℃
※. 相對濕度：≤70％
※. 儀器功率：≤200W
※. 工作電壓:AC 110V/220V
※. 三維自由超大樣品腔設計，樣品腔尺寸Φ320×180mm
※. 一次可同時分析24個元素
※. 重量：75kg

配置

X光管
放大電路
高低壓電源
雙激光定位系統
對被測樣品可以放大100倍
清晰觀測檢測部位
計算機、噴墨打印機
硅針半導體探測器
高清晰攝像頭，獨特的光路增強系統
專用軟件，操作界面十分友好